維修美國(guó)VIEW 全自動(dòng)影像儀

MicroLine-300是一款桌上型半自動(dòng)CD測(cè)量系統(tǒng)。

主要技術(shù)參數(shù)：

◆    測(cè)量范圍(XYZ)：標(biāo)準(zhǔn)：200×200×25mm；可選：300x300x25
◆    視場(chǎng)內(nèi)測(cè)量精度：10nm(100X 鏡頭)；Z軸聚焦范圍：25 mm
◆    視場(chǎng)內(nèi)測(cè)量范圍：0.5um~400um；
◆    視場(chǎng)內(nèi)測(cè)量重復(fù)性(100x 物鏡)：  晶圓上<0.010um(1δ)；
                                                    掩模板上0.005um(1δ)；   
◆    承重：2kg
◆    標(biāo)配鏡頭10x，可選鏡頭：5X, 20X, 50X, 100X 
MicroLine 系列 主要用于測(cè)量半導(dǎo)體、MEMS 晶圓、光刻掩模板等尺寸和涂覆物(多層套刻、圓、對(duì)接誤差等)量測(cè)。
MicroLine 臨界尺寸測(cè)量系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)用于半導(dǎo)體和MEMS晶圓以及光掩模CD量測(cè)。Microline 系列可自動(dòng)測(cè)量線寬，迭置重合，和其他關(guān)鍵尺寸。
MicroLine 裝備有高性能光學(xué)顯微鏡，高精度運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，可測(cè)量0.5 微米到400 微米大小的產(chǎn)品，測(cè)量精度和重復(fù)性在10nm （1  σ ，100倍物鏡）。
 

北京泰科瑞迪——維修業(yè)務(wù)簡(jiǎn)介

????? 北京泰科瑞迪“測(cè)試儀器維修檢測(cè)中心”，中心各類測(cè)試儀器維修檢測(cè)設(shè)備配置齊全。北京泰科瑞迪能維修各種進(jìn)口的分析儀表，尤其對(duì)化學(xué)分析儀器具有豐富的維修經(jīng)驗(yàn)。北京泰科瑞迪與各大測(cè)試儀器廠商有著良好的業(yè)務(wù)往來(lái)，有著充足的原廠儀器配件。北京泰科瑞迪擁有多名具有豐富維修經(jīng)驗(yàn)、職業(yè)道德良好的專業(yè)維修工程師，承接各類進(jìn)口測(cè)試儀器的維修及保養(yǎng)業(yè)務(wù)。北京泰科瑞迪提供一站式mro服務(wù)，不管是產(chǎn)品銷售還是維修服務(wù)，我們都會(huì)本著“服務(wù)第一”的原則，為客戶提供優(yōu)質(zhì)、快捷、熱情的服務(wù)。以“保證質(zhì)量、講究效率、價(jià)格合理”的服務(wù)原則，積累了廣大客戶的贊譽(yù)和信任，歡迎更多用戶與我們達(dá)成儀器維修與保養(yǎng)的長(zhǎng)期合作協(xié)議，我們將為您提供快捷、高效、實(shí)惠的儀器維修服務(wù)。