流量范圍從0-5sccm到0-1000slpm(氮氣)
• 設(shè)定點的響應時間不超過1sec
• 控制精度可達實際流量的1*
• I/O(輸入&輸出)可選模擬和數(shù)字信號
• 可實現(xiàn)本地/遠程設(shè)置/顯示
